R&D
반도체 관련 장비를 연구 개발 하는 기업
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FES, EFEM
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VALVE
연구개발 History
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FES(Fume Eliminate System)개발 ※경기도 테크노 파크 부품 국산화 지원 사업 과제
- 개발 성과
- 시제품 개발 완료 및 특허 8건 등록
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차세대 EFEM 개발(Low Humidity System EFEM)
- 개발 성과
- R&D용 개발 개시
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Heated 3way ball valve 개발
- 개발 성과
- 시제품 개발 및 납품 완료 / Ø160 개발 개시
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APC Valve Test System
- 개발 성과
- 테스트 기술 확보
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기타 Valve수리 내재화 기술 확보
- 개발 성과
- 고객사 의뢰 부품 수리기술 확보
- 반도체 소재 개발
- APC Valve 국산화
특허
사이드 스토리지용 배기 유닛
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사이드 스토리지의 웨이퍼 수용 카세트용 내부 후면 가스 분사 유닛
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사이드 스토리지의 웨이퍼 수용 카세트용 가스 분사 구조
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사이드 스토리지의 웨이퍼 수용 카세트용 측면 노즐 유닛 및 상기 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용카세트용 측면 노즐 유닛을 포함하는 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용카세트
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이에프이엠 하부 배기용 사이드 스토리지 및 상기 이에프이엠 하부 배기용 사이드 스토리지의 연결되는 이에프이엠
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이에프이엠용 웨이퍼향 질소가스 분사 구조 및 상기 이에프이엠용 웨이퍼향 질소가스 분사 구조를 포함하는 이에프이엠
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사이드스토리지의 웨이퍼 수용 카세트용 가스 분지 유로 구조
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사이드 스토리지의웨이퍼 수용 카세트용 측면 노즐 유닛 및 상기 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용카세트용 측면 노즐 유닛을 포함하는 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용카세트
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반도체소자 제조공정용 사각형 게이트 밸브
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| No. | 등록번호 | 발명의 명칭 | 특허권자 | 등록일 |
|---|---|---|---|---|
| 9 | 제10-2217711호 | 사이드 스토리지용 배기 유닛 | 주식회사 에이케이테크 | 2021-02-15 |
| 8 | 제10-2212856호 | 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용 카세트용 내부 후면 가스 분사 유닛 | 주식회사 에이케이테크 | 2021-02-01 |
| 7 | 제10-2141009호 | 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용 카세트용 가스 분사 구조 | 주식회사 에이케이테크 | 2020-07-29 |
| 6 | 제10-2123275호 | 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용 카세트용 측면 노즐 유닛 및 상기 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용카세트용 측면 노즐 유닛을 포함하는 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용카세트 | 주식회사 에이케이테크 | 2020-06-10 |
| 5 | 제10-2096968호 | 이에프이엠 하부 배기용 사이드 스토리지 및 상기 이에프이엠 하부 배기용 사이드 스토리지의 연결되는 이에프이엠 | 주식회사 에이케이테크 | 2020-03-30 |
| 4 | 제10-2080016호 | 이에프이엠용 웨이퍼향 질소가스 분사 구조 및 상기 이에프이엠용 웨이퍼향 질소가스 분사 구조를 포함하는 이에프이엠 | 주식회사 에이케이테크 | 2020-02-27 |
| 3 | 제10-2080015호 | 사이드스토리지의 웨이퍼 수용 카세트용 가스 분지 유로 구조 | 주식회사 에이케이테크 | 2020-02-27 |
| 2 | 제10-1954671호 | 사이드 스토리지의웨이퍼 수용 카세트용 측면 노즐 유닛 및 상기 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용카세트용 측면 노즐 유닛을 포함하는 사이드 스토리지의 웨이퍼 수용카세트 | 주식회사 에이케이테크 | 2019-02-27 |
| 1 | 제10-0925159호 | 반도체소자 제조공정용 사각형 게이트 밸브 | 주식회사 에이케이테크 | 2009-10-29 |
품질 인증
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ISO 9001 :2015
반도체장비 및 부품에 대한 설계ㆍ개발, 제조 및 서비스
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ISO 14001:2015
반도체장비 및 부품에 대한 설계ㆍ개발, 제조 및 서비스
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ISO 45001 :2015
반도체장비 및 부품에 대한 설계ㆍ개발, 제조 및 서비스