사업소개
APC Valve
AK Tech에 기술력으로 여러가지 APC 밸브를 공급합니다.
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APC Valve
APC (Automatic Pressure Control) 밸브 – 정밀 공정 압력제어 솔루션
AK Tech는 반도체 및 디스플레이 공정의 진공 상태를 정밀하게
제어하기 위한 여러가지 APC밸브를 공급합니다.
당사의 APC 밸브는 식각(Etch), 증착(CVD), ALD 등 다양한 진공 공정에서
챔버 내부 압력을 정밀하고 안정적으로 제어하며,
공정 조건 변화에도 민감하게 대응하는 고신뢰 구동 성능을 갖추고 있습니다.