사업소개
EFEM 오염제어 module
유해가스, 내부 습도 등을 장비 안에서 안전하게 관리할 수 있습니다.
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FES
(Fume Eliminate System)
공정 후 웨이퍼 위에 잔류하는 유해 가스,
이제는 장비 안에서 안전하게 제거하십시오.Fume Eliminate System은 공정이 완료된 웨이퍼가 담긴 카세트 내부에
N₂가스를 직접 불어넣어, 웨이퍼 표면에 남아 있는 잔존 가스를 효과적으로 제거하고,
내부 습도를 6% 이하로 낮춤으로써 2차 화학반응 및 오염을 원천적으로 차단하는
고정밀 After-Process Purge 솔루션입니다
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ECO EFEM
– 제습형 오염제어 EFEM
EFEM 내부의 습도, 이제는 오염의 원인이 될 수 있습니다.
ECO EFEM은 건조한 제습 공기(Dry Air)를 EFEM 내부에 공급하여
습도를 10% 이하로 유지, 공정 중 민감한 반응을 유발할 수 있는
수분 기반 오염을 차단합니다.
고객의 EFEM 구조와 공정 특성을 고려해 모듈화된 맞춤형 설계가
가능합니다.