No.

Description

공정

장비

OEM Code

1

AKT 15K PX SLIT VALVE DOOR

CVD

AMAT 5500

0041-74405 Rev1

2

AKT 20K PX SLIT VALVE DOOR

CVD

AKT 20K

6000-81166

3

AKT 40K PX SLIT VALVE DOOR

CVD

AKT 40K

0022-72518